研究業績(研究講演)

基本情報

氏名(漢字) 松川 真美
氏名(カナ) マツカワ マミ
氏名(ローマ字) MATSUKAWA Mami

発表タイトル

RFマグネトロンスパッタ法により作成した面内配向ZnO圧電薄膜の特性

学会名称

電子情報通信学会技術研究報告 US2004-73

開催年

2004

国内外別

国内

講演種類

その他

開催地