研究業績(研究講演)

基本情報

氏名(漢字) 松川 真美
氏名(カナ) マツカワ マミ
氏名(ローマ字) MATSUKAWA Mami

発表タイトル

マグネトロンスパッタ源から生成する高速負イオンを利用したZnO膜の配向制御

学会名称

圧電材料・デバイスシンポジウム2011

開催年

2012

国内外別

国内

講演種類

シンポジウム

開催地