研究業績(研究講演)

基本情報

氏名(漢字) 松川 真美
氏名(カナ) マツカワ マミ
氏名(ローマ字) MATSUKAWA Mami

発表タイトル

RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた極性反転ZnO薄膜の作製

学会名称

電子情報通信学会 超音波研究会

開催年

2012

国内外別

国内

講演種類

研究発表

開催地