研究業績(研究講演)

基本情報

氏名(漢字) 松川 真美
氏名(カナ) マツカワ マミ
氏名(ローマ字) MATSUKAWA Mami

発表タイトル

RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向AlN及びScAlN薄膜の形成

学会名称

2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会

開催年

2012

国内外別

国内

講演種類

 

開催地