研究業績(研究講演)

基本情報

氏名(漢字) 松川 真美
氏名(カナ) マツカワ マミ
氏名(ローマ字) MATSUKAWA Mami

発表タイトル

Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11-20) ZnO piezoelectric films

学会名称

2011 IEEE International Ultrasonics Symposium

開催年

2011

国内外別

 

講演種類

シンポジウム

開催地