研究業績(研究講演)

基本情報

氏名(漢字) 松川 真美
氏名(カナ) マツカワ マミ
氏名(ローマ字) MATSUKAWA Mami

発表タイトル

イオンビームスパッタ法による(11-20)配向AlN薄膜の作製と圧電特性

学会名称

圧電材料・デバイスシンポジウム2009

開催年

2009

国内外別

国内

講演種類

シンポジウム

開催地