研究業績(特許)

基本情報

氏名(漢字) 和田 元
氏名(カナ) ワダ モトイ
氏名(ローマ字) WADA Motoi

特許番号

特許公開2009-117466

特許名

活性度制御式窒素化合物MBE成膜方法及び装