研究業績(特許)

基本情報

氏名(漢字) 和田 元
氏名(カナ) ワダ モトイ
氏名(ローマ字) WADA Motoi

特許番号

特許公開2008-078200

特許名

金属窒素化合物の分子線エピタキシー成膜方法及び装置