研究業績(著書)

基本情報

氏名(漢字) 和田 元
氏名(カナ) ワダ モトイ
氏名(ローマ字) WADA Motoi

ISBN国際標準図書番号

978-0-7354-0876-0

書名

Erosion of Extraction Electrodes of Ion Sources due to Sputtering

出版社

 

1321

 

325-328

媒体区分

単行本

発行年

2011

共著者氏名

Takahiro Kenmotsu, Naoki Miyamoto

単著・共著区分