研究業績(論文・解説等)

基本情報

氏名(漢字) 和田 元
氏名(カナ) ワダ モトイ
氏名(ローマ字) WADA Motoi

DOI

 

ISSN国際標準逐次刊行物番号

 

論文名

Thin Film Formation of GaN using Ga Sputtering in N2 Plasmas

著者名

和田 元

掲載誌名

 

44

1

48-55

媒体区分

学術雑誌

発行年

2003

共著者氏名

R. Flauta, T. Kasuya, T. Ohachi

単著・共著区分

共著