研究業績(論文・解説等)

基本情報

氏名(漢字) 和田 元
氏名(カナ) ワダ モトイ
氏名(ローマ字) WADA Motoi

DOI

 

ISSN国際標準逐次刊行物番号

0914-9090

論文名

Improvement of plasma-assisted molecular beam epitaxial growth of group 3 nitrides on Si controlling radio frequency discharge modes and irradiation of nitrogen flux

著者名

和田 元

掲載誌名

 

50

01AE01

1-8

媒体区分

学術雑誌

発行年

2011

共著者氏名

Tadashi Ohachi, Nobuhiko Yamabe, Osamu Ariyada

単著・共著区分