研究業績(論文・解説等)

基本情報

氏名(漢字) 和田 元
氏名(カナ) ワダ モトイ
氏名(ローマ字) WADA Motoi

DOI

 

ISSN国際標準逐次刊行物番号

1883-9630

論文名

Comparison of Plasma Parameters in CCP and ICP Processes Appropriate for Carbon Nanotube Growth

著者名

和田 元

掲載誌名

 

8

 

0587-0590

媒体区分

学術雑誌

発行年

2009

共著者氏名

Yohei SAKAMOTO, Shuichi MAENO, Nobuteru TSUBOUCHI, Toshiro KASUYA

単著・共著区分

共著