研究業績(論文・解説等)

基本情報

氏名(漢字) 和田 元
氏名(カナ) ワダ モトイ
氏名(ローマ字) WADA Motoi

DOI

 

ISSN国際標準逐次刊行物番号

0034-6748

論文名

Compact 2.45 GHz microwave ion/radical source

著者名

和田 元

掲載誌名

 

79

02A

3181-3

媒体区分

学術雑誌

発行年

2008

共著者氏名

Y. Sakamoto, T. Kauya, S. Maeno

単著・共著区分

共著