研究業績(研究講演)

基本情報

氏名(漢字) 和田 元
氏名(カナ) ワダ モトイ
氏名(ローマ字) WADA Motoi

発表タイトル

Development of a Plasma Sputter-type Ion Source for Extracting Low-Energy Gallium Ions

学会名称

18th International Conference on Ion Implantation Technology

開催年

2010

国内外別

国内

講演種類

研究発表

開催地

Kyoto