研究業績(研究講演)

基本情報

氏名(漢字) 和田 元
氏名(カナ) ワダ モトイ
氏名(ローマ字) WADA Motoi

発表タイトル

Sputtering of Liquid Metal Target by a Radio Frequency Induced Self-Bias

学会名称

第56回応用物理学関係学会連合講演会

開催年

2009

国内外別

国内

講演種類

研究発表

開催地

つくば