研究業績(論文・解説等)

基本情報

氏名(漢字) 𠮷門 進三
氏名(カナ) ヨシカド シンゾウ
氏名(ローマ字) YOSHIKADO Shinzo

DOI

 

ISSN国際標準逐次刊行物番号

 

論文名

NF3ガス系プラズマRIEを用いたLiNbO3単結晶のマスク非使用による微細表面加工

著者名

吉門 進三

掲載誌名

電気学会論文誌A

128

 

187-195

媒体区分

学術雑誌

発行年

2008

共著者氏名

@小俣輝明,村上徳嗣

単著・共著区分

共著