研究業績(論文・解説等)

基本情報

氏名(漢字) 𠮷門 進三
氏名(カナ) ヨシカド シンゾウ
氏名(ローマ字) YOSHIKADO Shinzo

DOI

 

ISSN国際標準逐次刊行物番号

 

論文名

フッ素系ガスプラズマRIEを用いたLiNbO3,LiTaO3結晶の加工表面評価

著者名

吉門 進三

掲載誌名

電気学会論文誌A

123

8

731-737

媒体区分

学術雑誌

発行年

2003

共著者氏名

@藤井隆裕

単著・共著区分

共著