研究業績(特許)

基本情報

氏名(漢字) 稲葉 稔
氏名(カナ) イナバ ミノル
氏名(ローマ字) INABA Minoru

特許番号

特開2006-024749

特許名

炭化珪素単結晶及びそのエッチング方法