研究業績(論文・解説等)

基本情報

氏名(漢字) 稲葉 稔
氏名(カナ) イナバ ミノル
氏名(ローマ字) INABA Minoru

DOI

 

ISSN国際標準逐次刊行物番号

 

論文名

Effects of Type of Reactor, Crystallinity of SiC and NF3 Gas Pressure on Etching Rate and Smoothness of SiC Surface using NF3 Gas Plasma

著者名

稲葉 稔

掲載誌名

J. Vac. Sci. Technol. A,

27

6

1369-1376

媒体区分

 

発行年

2009

共著者氏名

A. Tasaka, H. Yamada, T. Nonoyama, T. Kanatani, Y. Kotaka, T. Tojo

単著・共著区分

共著