研究業績(論文・解説等)

基本情報

氏名(漢字) 稲葉 稔
氏名(カナ) イナバ ミノル
氏名(ローマ字) INABA Minoru

DOI

 

ISSN国際標準逐次刊行物番号

 

論文名

The Surface Morphology of The Polycrystalline and Single-Crystal SiC Treated with Pure Plasma and Analysis on The Chemical Reaction of SiC with NF3

著者名

稲葉 稔

掲載誌名

ECS Trans.

3

33

1-7

媒体区分

 

発行年

2007

共著者氏名

Takatsugu Kanatani, Tetsuro Tojo, Masamichi Tanaka, Akimasa Tasaka

単著・共著区分

共著