研究業績(論文・解説等)

基本情報

氏名(漢字) 稲葉 稔
氏名(カナ) イナバ ミノル
氏名(ローマ字) INABA Minoru

DOI

 

ISSN国際標準逐次刊行物番号

 

論文名

Effect of Oxygen Concentration on The Spike Formation during Reactive Ion Etching of SiC Using The Mixed Gas Plasma of NF3 and O2

著者名

稲葉 稔

掲載誌名

J. Vac. Sci. Technol.

25

2

391-400

媒体区分

学術雑誌

発行年

2007

共著者氏名

A. Tasaka, E. Watanabe, T. Kai, W. Shimizu, T. Kanatani, T. Tojo, M. Tanaka, T. Abe, Z. Ogumi

単著・共著区分

共著