研究業績(論文・解説等)

基本情報

氏名(漢字) 稲葉 稔
氏名(カナ) イナバ ミノル
氏名(ローマ字) INABA Minoru

DOI

 

ISSN国際標準逐次刊行物番号

 

論文名

Plasma Etching of SiC Surface using NF3

著者名

稲葉 稔

掲載誌名

 

20

4

1250-1260

媒体区分

学術雑誌

発行年

2002

共著者氏名

A. Tasaka, K. Takahashi, K. Tanaka, K. Shimizu, K. Mori, S. Tada, W. Shimizu, T. Abe, M. Inaba, Z. Ogumi, and T. Tojo

単著・共著区分

共著